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我校获省技术发明奖一项

发布时间: 2019-10-30 19:29:59  

  近日,省政府发布2015年度山东省科学技术奖授奖公告,表彰为我省科技事业作出突出贡献的科技工作者。我校机械工程学院兰红波教授主持申报的“大面积纳米压印技术、装备与应用”项目获得2015年度省技术发明奖二等奖。这是我校首次获得省技术发明奖。

  该项目瞄准科技前沿研究和国家重大战略需求,在国家自然科学基金重大研究计划“纳米制造的基础研究”、国家863项目等资助下,围绕高效、低成本批量化制造大面积微纳结构这一挑战性和亟待解决的问题,经过多年的研究和开发,在大面积纳米压印工艺、装备和工业化应用等方面取得一系列创造性成果,实现了高效、低成本规模化制造大面积微纳米结构,解决了非平整衬底、易碎衬底大面积微纳米图形化难题,满足了高亮度LED、量子点器件、晶圆级微纳光学器件等的规模化生产的需求。研究成果获得授权美国发明专利1项,中国发明专利15项,实用新型专利4项,出版纳米压印英文学术著作3部,发表SCI/EI收录论文22篇。开发了国内首台具有自主知识产权的4英寸整片晶圆纳米压印光刻机,打破国外垄断。项目研究成果已经应用在蓝宝石衬底图形化、量子器件等产业领域,产生了显著的社会效益和经济效益。(科技处)
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